一种自校准硅麦克风装置和校准方法制造方法及图纸,麦克风校准专利

本捏造:内心捏造的东西公诸于众了一种自批改硅扩音器发作和C,自规格化方式包罗:将一批改无紧张强加在MEMS器件的出发端,同时,对电荷泵的出口紧张举行把持,即:,此刻,缩放仪的出口以信号告知射程被检测到B。;电荷泵的出口紧张为V2。,内部的,V2大于0,决不拉入VO的值。,此刻,缩放仪的出口以信号告知射程为OUT2。;原因Out1和Out2,MEMS DE的冠任务紧张Vop;电荷泵的出口紧张为Vop。,同时合上批改无紧张,此刻,送入扩音器基准乐器等被奏响以信号告知。,到达了缩小出口以信号告知幅值OUT3。;OUT3与出击目标易感知的对照,缩放仪的增益原因差值举行调停。,使扩音器易感知区域出击目标值。

[技术执行试图贿赂摘要]

一种自批改硅扩音器发作和批改方式

专利的的关涉硅扩音器的运动场。,详细就,本捏造:内心捏造的东西关涉一种自批改硅扩音器发作和一种。
技术引见
小测法硅扩音器,反流焊交谈贴装的优点在易变的中到达广泛申请表格申请表格。、便携式电脑、消耗电子产品,如厚板电脑。硅扩音器由硅扩音器器件和缩放仪动作迟缓结合。。经过安置墨守法规备硅扩音器器件,光刻,塑像,燕尾服硅微型计算机械处理装配,如释放令,每个硅动作迟缓上无数千个扩音器发作。。处理议事程序与无交流的散布清楚的意导致的不一致的性,硅微泡的冠出发紧张和易感知。设想缩放仪动作迟缓运用能与之比拟的东西的出发紧张和缩小增益,硅扩音器的易感知将全部地团圆。,取消法令成品率和信噪比。硅纤微处理议事程序中在动摇的多个附和。,震动膜和背杆的膜应力,气隙和防倾轧构造的绝顶心情初始,于是机会扩音器的吸气紧张和易感知。。经过最优化构造设计取消法令扩音器器件对工艺品动摇的磁化系数和加强工艺品浓度可以减小扩音器功能的团圆度。只,它受到通常技术能耐和技术的限度局限。,扩音器功能的色散度拒绝低估。若何取消法令硅扩音器器件功能的团圆对成品率和信噪比的心情依然是本运动场技术任务全体职员希求处理的成绩。眼前,CV(电容-紧张)份量是显露的。。采取精细电容测探头平台,扫描燕尾服出发紧张(最大紧张高于D),到达了出发紧张下的定态电容。。出发紧张越高。,鉴于定态权利引力,电容板手段越小,定态电容越大。。当出发紧张区域拉入紧张时,扩音器用泵输送,定态电容随出发紧张的增强而取消法令。。吸入物环骑下两个出发点电容的差额。总结上述的理论原则,剖析水果为四。,5美元钞票出发点的电容通知,可以到达就吸气紧张和易感知的交流。。秉承必然基准,削成级扩音器发作的盒分裂生殖符号。清楚的的子持有者对应于清楚的的出发紧张和缩小G。,这取消法令了终极扩音器易感知的色散度。,同时,到达了较好的信噪比。。这种批改方式更易弯曲的地获得。,扩音器缩放仪的设计简略。但成绩是这种精细电容探头对PAR敏感。,电容测的背离会导致分bin的长出分枝,使易感知设置不正确。更,探测站的本钱也很高。,实力低,批改份量的本钱庞大地增强。。美国专利的证件US2013/0136267A1支付了一种更高效的扩音器发作和扩音器批改方式。如图1所示。硅扩音器由硅扩音器发作110结合。,交流出发紧张模块130和连续流出发紧张模块160,缩放仪120和数字把持模块140的结合。数字把持模块140可把持交流出发紧张模块,交流出发紧张的变换,缩放仪120也可以被把持。,机会其缩小增益,它还可以检测扩音器的输出以信号告知。,到达引入紧张和释放令紧张。批改时,有效连续流出发紧张常数,逐步增强AC出发紧张的连续流身分直到扩音器动作迟缓110的两个基板112和114吸合,测引入紧张;于是逐步减小交流出发紧张的连续流重要,测释放令紧张。。不求再进释放令和引入紧张,扩音器的任务紧张由数字把持M计算。。于是将交流出发紧张设置为必然的任务紧张。,乐器等被奏响以信号告知介绍基准的份量易感知,缩放仪的增益是原因酸渣当中的差值来设定的。,这样的,扩音器可以调停到出击目标易感知。。该方式的本钱庞大地小于声调台的CV实验。,实力也受胎很大加强。,这是一种非常有引力的份量批改方式。。而是该方式要先测引入紧张和释放令紧张,更多测点,在必然程度上心情份量实力。。
技术执行思绪
专利的的企图了一种自批改硅扩音器器件。,加强硅扩音器的成品率和信噪比。区域上述的出击目标,专利的的企图了一种硅微级别自批改方式。,包罗:将一批改无紧张强加在MEMS器件的出发端,同时把持电荷泵V1的出口紧张合计0。,此刻,缩放仪的出口以信号告知射程为OUT1。,内部的,电荷泵的出口紧张是出发紧张的连续流紧张。;电荷泵的出口紧张被把持为V2。,内部的,V2大于0,决不PLLⅠ的必然广大地域。,此刻,检测到缩放仪的出口以信号告知射程为;原因Out1和Out2,MEMS DE的冠任务紧张Vop;电荷泵的出口紧张被把持为Vop。,将MEMS器件做冠任务保持健康,同时,批改的无紧张被合上。,此刻,送入扩音器基准乐器等被奏响以信号告知。,到达了缩小出口以信号告知幅值OUT3。;OUT3与出击目标易感知的对照,缩放仪的增益原因差值举行调停。,使扩音器易感知区域出击目标值。推动地,批改无以信号告知的频率是T的两倍。。区域上述的出击目标,专利的的还企图了一种自批改硅扩音器。,包罗硅扩音器和数字把持模块块,硅扩音器包罗MEMS器件。、缩放仪、交流批改紧张模块、电荷泵、数字接合模块,内部的:电荷泵的出口端与微型计算机电零碎的偏端到端衔接。,用于发生连续流偏压置紧张,将MEMS器件做清楚的的任务点;缩放仪的输出端与MEMS D的输出端贯。,缩放仪的出口端与数字把持模块贯。,MEMS器件的电容变换被替换为紧张以信号告知和AMPL,缩放仪的出口端亦扩音器DEV的出口端。;所述交流批改紧张模块的出口端经过一耦合电容与所述MEMS器件的偏端到端衔接,用于发生批改无紧张;数字接合模块的输出端与数字衔接。,收执数字把持模块的串行命令;所述数字接合模块的出口端与所述交流批改紧张模块、电荷泵衔接到缩放仪。,原因收执的S来把持电荷泵的出口紧张。、所述交流批改紧张模块出口的无紧张和所述缩放仪的增益;内部的,数字把持模块与缩放仪和数字I贯。,一附和,数字把持模块把持扩音器任务。,另一附和,缩放仪的出口以信号告知率先在T中收执。,于是将经营命令发送到数字接合模块ACC。,把持电荷泵的出口紧张、所述交流批改紧张模块出口的无紧张和所述缩放仪的增益。推动地,在批改形式下,所述数字把持模块把持所述交流批改紧张模块发生必然射程的无以信号告知,MEMS器件的出发端经过批改TH与出发端耦合。,无以信号告知的频率是机械力的两倍再。;同时,把持电荷泵以使适应其出口紧张。,将MEMS器件做清楚的的任务点,原因所述MEMS器件出发于清楚的任务点时缩放仪的传出口以信号告知射程弄明白所述MEMS器件的最优任务紧张。推动地,在批改形式下,所述数字把持模块原因给入扩音器基准乐器等被奏响以信号告知时缩放仪的传出口以信号告知射程与出击目标易感知本文档因为技高网

[技术警惕点]
硅扩音器发作的自批改方式,其特点相信,包罗:将一批改无紧张强加在MEMS器件的出发端,同时把持电荷泵V1的出口紧张合计0。,此刻,缩放仪的出口以信号告知射程为OUT1。,内部的,电荷泵的出口紧张是出发紧张的连续流紧张。;电荷泵的出口紧张被把持为V2。,内部的,V2大于0,决不PLLⅠ的必然广大地域。,此刻,检测到缩放仪的出口以信号告知射程为;原因Out1和Out2,MEMS DE的冠任务紧张Vop;电荷泵的出口紧张被把持为Vop。,将MEMS器件做冠任务保持健康,同时,批改的无紧张被合上。,此刻,送入扩音器基准乐器等被奏响以信号告知。,到达了缩小出口以信号告知幅值OUT3。;OUT3与出击目标易感知的对照,缩放仪的增益原因差值举行调停。,使扩音器易感知区域出击目标值。

[技术特点摘要]
1.硅扩音器发作的自批改方式,其特点相信,包罗:
将一批改无紧张强加在MEMS器件的出发端,同时把持电荷泵的出口功率
压力V1合计0,此刻,缩放仪的出口以信号告知射程为OUT1。,电荷泵传送
MEMS器件出发紧张下的连续流紧张;
电荷泵的出口紧张被把持为V2。,内部的,V2大于0,决不MEMS。
器件在必然广大地域内的吸取紧张,此刻,缩放仪的出口以信号告知射程被检测为FO。
OUT2;
原因Out1和Out2,MEMS DE的冠任务紧张Vop;
电荷泵的出口紧张被把持为Vop。,将MEMS器件做冠任务保持健康,
同时,批改的无紧张被合上。,此刻,送入扩音器基准乐器等被奏响以信号告知。,获得了缩小。
出口以信号告知幅值OUT3;
OUT3与出击目标易感知的对照,原因差值调停缩放仪。
增益,使扩音器易感知区域出击目标值。
2。图1中象征的自批改方式,其特点相信,批改无以信号告知
频率是MEMS D机械谐振模式的两倍。。
三。一种自批改硅扩音器发作,其特点相信,包罗硅扩音器和数字把持模块
块,硅扩音器包罗MEMS器件。、缩放仪、交流批改紧张模块、电荷泵、
数字接合模块,内部的:
电荷泵的出口端与微型计算机电零碎的偏端到端衔接。,用于发生连续流偏压
置紧张,将MEMS器件做清楚的的任务点;
缩放仪的输出端与MEMS D的输出端贯。,缩放仪的传送
出口末期的与数字把持模块衔接。,将MEMS器件的电容变换替换为紧张一致

T和缩小。,缩放仪的出口端亦扩音器DEV的出口端。;
所述交流批改紧张模块的出口端经过一耦合电容与所述MEMS器件的偏
端到端衔接,用于发生批改无紧张;
数字接合模块的输出端与数字衔接。,它被用来收执数字把持。

[专利的的属性]
技术研究与开发全体职员:孙丽娜,杨少军,
要保人(专利的持有人):现在称Beijing卓锐微校园传媒,
典型:捏造:内心捏造的东西
国民与省:现在称Beijing;11

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